正在施工的高新区8英寸高性能特色工艺半导体集成电路生产线项目 记者 王健 摄

作为陕西发展半导体集成电路产业的重点项目、2024年市级重点建设项目，由陕建七建集团施工的高新区8英寸高性能特色工艺半导体集成电路生产线建设项目建设进度条持续刷新。

12月25日，在该项目举行的媒体开放日中，记者了解到，项目将于今年年底前全面封顶，建成后将填补我省8英寸半导体制造领域的空白。

巨型“华夫板”结构

展现纳米级洁净厂房建造

机器轰鸣，成群结队的工程机械来回穿梭，头戴安全帽、身系安全带的建筑工人在各自岗位上忙碌着……在现场施工管理人员的精准调度下，数十台各类机械分头作业，数百名工人有条不紊的奏响着建筑“进行曲”。这是记者在位于西安市高新综合保税区内，8英寸高性能特色工艺半导体集成电路生产线建设项目施工现场看到的一幕。

在工作人员的带领下，记者进入到项目核心区域生产厂房的施工现场。刚走到二楼，抬头望向天花板，一块呈现出网格状纹理的巨型华夫板很是吸睛。“这是三万多组华夫筒拼接的，也是项目最特殊的地方。”项目技术质量组副组长王海松介绍说，与其他行业的高科技厂房建设相比，半导体行业工程建设极具特殊性，为确保后期生产设备安装精度以及电子元件制造过程中不受到尘埃和其他微粒的污染，空气洁净度和生产车间内的抗微震性需要严格把控。此次建设的厂房为高洁净度生产厂房，核心生产区域可达纳米级“十级”洁净度（ISO 1级）洁净度，比医院最高等级手术室洁净度的要求提高了100倍。

为此，该项目需要采用目前先进的华夫板（利用楼板内孔洞形成回风通道的楼板）楼面，内含80厘米和70厘米两种高度共计30249个华夫筒，一次性组合完成14000余平方米的华夫板结构层。“与普通楼板相比，华夫板的中间预留了大量圆柱形垂直孔洞，以形成回风通道，从而建立起洁净空调通风系统。洁净车间中含微粒的气流经由华夫板可以重新过滤出洁净且稳定的气流。”项目机电负责人王冠说，华夫板施工质量的好坏将直接影响到整个厂房洁净车间使用功能的发挥，因此如何控制华夫板的施工质量是本工程的重中之重。

记者了解到，为达到任意2米范围内高差小于2毫米的高精地坪要求，确保混凝土面坚硬不起灰、没有蜂窝麻面，施工团队对模板安装各环节进行标高控制；混凝土浇筑前采用精密水准仪及靠尺，对已安装完成的华夫筒进行复核和验收；混凝土浇筑过程中，采用激光整平仪配合找平；混凝土浇筑找平完成后，再次使用精密水准仪配合2米靠尺，每50厘米方格网复核一次楼面标高，及时进行标高调整，最终达到高精水准。

高效施工填补

陕西半导体制造领域空白

随后，记者跟随工作人员沿着楼梯继续向上，到达生产厂房第三层的施工区域时，巨大的钢结构屋架就映入眼帘。“为满足后期半导体设备能够更便捷地进行移动与更换，项目房盖钢桁架跨度设计就比较大，单跨跨度就能达到43.2米和46.8米，整榀桁架重达140吨，其安装工程属于超过一定规模的危险性较大的分部分项工程。”项目经理李虎让说。

这么大的体量，如何采取有效的安全技术措施，确保钢屋架的吊装？为找到最合适的方案，项目团队根据施工现场的特点，决定采用汽车吊上楼面拼装的施工方案，将厂房划分为4个施工段，每个施工段配合2台50吨汽车吊吊装，大大提高了施工效率，共计4000多吨的钢结构仅用一个月就完成了施工。

据悉，8英寸高性能特色工艺半导体集成电路生产线建设项目总建筑面积约17.39万平方米；由生产厂房、生产调试厂房、综合动力站、特气站、硅烷站及各类库房等17栋单体组成。“电子厂房建设工期短、节奏快、质量要求高、资金量投入大，这也就对建设者的项目管理提出了更高的要求。在建设过程中，我们投入了大量的人力，厂房施工中工人数量最多时能达到1300余人，为了调度如此庞大的施工团队和土建、钢构、机电、工艺设备以及洁净工程等多个工序，项目指挥部采取了一系列精细化管理措施和资源配置计划。”项目指挥部现场常务执行指挥长杨晓栋说。

也正因如此，项目从地基处理到主体结构建设，从绑扎钢筋到混凝土浇筑，每一个环节都能如期顺利实施并完成，仅6个月就实现了项目主体封顶。未来项目建成后，将弥补“陕西芯”制造业短板，增强陕西集成电路产业竞争力和聚集力，促进产业上下游顺畅衔接。

近年来，“中国屏”“中国芯”等高科技电子产业发展极大缓解了我国曾经“缺芯少屏”的尴尬，随着我国不断加大高科技电子厂房的投入，这些代表民族工业核心竞争力的背后，少不了“超级厂房”的保驾护航，这些彰显中国制造崛起腾飞的“超级厂房”的建设也吸引了众多目光。杨晓栋说：“在陕西高科技电子厂房的高效建设与核心技术快速提升，科技电子产业竞争力不断增强的发展趋势下，我们将继续深入研究高精厂房的建造技术，以强大的专业能力为陕西制造保驾护航，以品质助力并‘建’证‘中国芯’‘陕西芯’的进步和发展。”

记者 龚伟芳